Page 19 - [12001_4]기준기와 교정장치(k)

3차원측정기(공작기계·정밀 측정기기·반도체 설비관련)

311시리즈
진직도 측정기(SMS)

●정반,또는 공작기계 등에 올려 손쉽게 진직도 측정을 할 수 있습니다.
●공기베어링식 슬라이드를 사용함으로써 부드러운 움직임과 고정도를
실현하고 있습니다.
●측정물의 수직면과 수평면 안의 진직도 측정이 가능합니다.
●측정가능 길이를 확충하는 『연결측정기능』에 의해 3.5㎜의 진직도 측정도
가능합니다.
(연결 데이터의 불확도에 의해 측정 정도는 저하됩니다. )
●뛰어난 보조기능을 갖추고 있기 때문에 간편한 작업과 정확한 측정이
가능합니다.

■사양
부호 SMS-800 SMS-1100
측정범위 800mm 1100mm
최소 표시량 0.1μm
진직도 정도（20℃） ※1 수평면 측정 ±（0.5＋0.5L/1000）μm
수직면 측정 L＝임의 측정 길이（mm）
트레이스 방식 수동
슬라이드 안내 공기베어링
이동좌표 측장유닛 ※2 ABS리니어 인코더
본체부 1072（W）×207（D）×245（H）mm 1380（W）×207（D）×245（H）mm
외관길이
(암,돌기,커넥터는 포함하지않음) 전기부품 330（W）×305（D）×76（H）mm
에어유닛 270（W）×150（D）×372（H）mm
본체부 25kg 31kg
무게 전기부품 3.6kg
에어유닛 5.8kg
압력 0.4MPa이상
공기사용 조건
소비량 60L/min
전원 AC100V ±10％,50/60Hz 삼차원
측정기
소비전력（PC제외） 최대50W
사용온도 범위 20℃±10℃
※1:정도는 표준 암에 의해 아래와 같은 위치에서 통상 측정 모드로 측정한 경우의 사양입니다. 슬라이드 중심
※2:ABS리니어 인코더는 데이터 판독용입니다. 측면시 자세
길이방향의 교정은 하지 않기 때문에 길이 측정용으로 사용할수 없습니다.
•수평면 측정의 정도 보증 위치:X=슬라이더 중앙,슬라이더 끝면에서 Y=35㎜위치 Y 슬라이드
•수직면 측정의 정도 보증 위치:X=슬라이더 중앙, 슬라이더 끝면에서 Y=100㎜위치

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