Page 22 - [12001_4]기준기와 교정장치(k)

측정투영기/측정현미경

182시리즈 ■외관 치수
단위：mm
표준스케일 전체길이
( 주문제작 ) 측정길이 두께 1
눈금면
JIS B 7541을 모델로 하여 유리로 제작된 표준 스케일 입니다. 폭 Model No. HL－ ＊＊＊ Serial No. 4 2
●자세한 내용은 카탈로그 No.4247를 참조해 주십시오. 5 눈금두께4µm
정렬마크두께
20µm
182-502
HL-500

182-501
HL-250

■사양
주문 번호 182-501 182-502
부호 HL-250 HL-500
측정길이（mm） 250 500
전체길이（mm） 280 530
폭（mm） 20 30
두께（mm） 10 20
재질 저팽창 유리
열팽창 계수/K （0.00±0.02）×10 −6
눈금선 폭（µm） 4
눈금 피치（mm） 1
허용 차（20℃）（µm） 0.5＋L/1000 L＝측정길이（mm）
※영문 JCSS인증서 포함
182시리즈 ■외관 치수
단위：mm
작업 표준 스케일 ●HL1 전체길이 10
1
( 주문제작 ) 측정길이 눈금면 2.7 최소 눈금 피치 0.1
2.5
현미경, 투영기의 테이블 지시 정도의 측정 또는 반도체 제조장치의 22 0 10 HL1－200 30 40 95 ＊＊＊ 50 60 70 190 200 3.5 5
20
정도 평가에 사용 0 10 1.5 1.7
●자세한 내용은 카탈로그 No.4247를 참조해 주십시오. ●HL2 전체길이 10
측정길이 눈금면 4.7 1 0.5
2.5 3.5
36 0 10 20 30 40 50 60 70 490 500 5
Model No. HL . 2－500 Serial No.
2
0 10 2
●HL3
전체길이 10
눈금선100X 측정길이 눈금면 4.7 1
3.5
36 0 10 20 30 40 50 60 70 490 500 5
Model No. HL . 3－500 Serial No.
2
측정투영기• ■사양 0 10 2
측정현미경 주문 번호 182-511 182-512 182-513 182-514 182-521 182-522 2182-523 182-524 182-525 182-531 182-532 182-533 182-534
부호 HL1-50 HL1-100 HL1-150 HL1-200 HL2-100 HL2-200 HL2-300 HL2-400 HL2-500 HL3-250 HL3-500 HL3-750 HL3-1000
측정길이（mm） 50 100 150 200 100 200 300 400 500 250 500 750 1000
전체길이（mm） 75 125 175 225 130 230 330 430 530 280 530 780 1030
열팽창 계수/K （8.0±1.0）×10 −6
눈금선 폭（µm） 20 50 100
재질 나트륨 유리
정도（20℃）（µm） 1.5+2L/1000 L＝측정길이（mm）
※검사 성적표 포함

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