Page 20 - [12001_4]기준기와 교정장치(k)

3차원측정기(공작기계·정밀 측정기기·반도체 설비관련)

직교좌표를 갖고있는 3차원 측정기·공작기계·정밀측정기기·반도
체 관련 설비등의 운동정도(진직도,직각도)와 정도(위치 결정 정도)
사용예
확인용의 기준기류입니다. 또한 진직도와 직각도를 측정하는 마스터로도 더블면 모델
사용할 수 있습니다.
고정도·초고정도모델
311시리즈 ●JIS에서는 직정규 (직각자) 라고 부르는 진직도를 검사하기 위한 기준기
입니다.
세라 진직 마스터(SM-C) ●기존 상품과 비교해 고정도 입니다. 또한 내구성이 뛰어난 소재이며
경년변화가 작은 알루미늄 세라을 사용하고 있습니다.
●고정도 모델과 초고정도 모델, 그리고 더블면 모델을 라인업 하고 있습니다.
■사양（고정도 모델）
주문 번호 311-302-10 311-302-11 311-305-10 311-305-11 311-307-10 311-307-11 311-309-10 311-309-11
부호 SM-C400-10 SM-C400-11 SM-C700-10 SM-C700-11 SM-C1000-10 SM-C1000-11 SM-C1300-10 SM-C1300-11
유효길이 400mm 700mm 1000mm 1300mm
진직도 0.3μm 0.5μm 1.0μm 1.5μm
무게 1.8kg 3.0kg 8.0kg 10.0kg
교정증명서 ― ○ ― ○ ― ○ ― ○
■사양（초고정도 모델）
주문 번호 311-332-11 311-335-11 311-337-11 311-339-11
부호 SM-C400H-11 SM-C700H-11 SM-C1000H-11 SM-C1300H-11 916시리즈
유효길이 400mm 700mm 1000mm 1300mm
진직도 0.2μm 0.4μm 0.5μm 0.7μm 정밀 스퀘어(SF·SB·SE)
무게 1.8kg 3.0kg 8.0kg 10.0kg
■사양（더블면 모델）
주문 번호 311-352-11 311-355-11 311-357-11 311-359-11 ●JIS에서는 직정규(직각자)라고 부르는 진직도 및 직각도를 검사하기
부호 SM-C400D-11 SM-C700D-11 SM-C1000D-11 SM-C1300D-11
유효길이 400mm 700mm 700mm 1300mm 위한 기준기 입니다.
진직도 0.3μm 0.5μm 1.0μm 1.5μm ●표준타입, 스탠드 부착 타입, 베벨 엣지 타입의 3가지 종류가 라인업
무게 3.2kg 5.5kg 8.0kg 10.0kg
●카탈로그 No.k-3(정밀 측정기기•종합 카탈로그)를 참조해 주십시오. 되어 있습니다.
311시리즈
초정밀 사각 마스터(UM)

● 진직도 및 직각도를 검사하기 위한 기준기로 4면 모두가 초정밀
랩핑 기술로 제작되어 기준면으로 사용 가능합니다.
● 사양 기준면의 진직도 및 직각도는 고정도로 제작되어 있습니다. 표준타입 스탠드 부착 베벨 엣지 타입
916-213 SF100 916-402 SB100 （Ⅲ형）
또한 3종류의 사이즈로 라인업 되어 있습니다. 916-102 SE100
■사양
주문 번호 부호 길이（mm） 직각에서 오차 허용값(μm)
표준타입
916-211 SF50 50×40×4
916-212 SF75 75×50×4
916-213 SF100 100×70×4
916-214 SF150 150×100×5.5 외측 5+L/50
916-215 SF200 200×130×5.5 내측 10+L/20
916-216 SF250 250×165×8
삼차원 916-217 SF300 300×200×8
측정기 916-218 SF400 450×250×10
No.311-111 No.311-112 No.311-113 스탠드 부착
UM-110 UM-210 UM-310
916-401 SB75 75×50×4
■사양 916-402 SB100 100×70×4
사용 기준면 측면 916-403 SB150 150×100×5.5 외측 5+L/50
사이즈（mm） 무게 916-404 SB200 200×130×4
주문 번호 부호 직각도 진직도 직각도 평행도 내측 10+L/20
W×L×T （kg） 916-405 SB250 250×165×5.5
（μm） （μm） （μm） （μm） 916-406 SB300 300×200×5.5
311-111 UM-110 90×110×25 1 1 5 5 1.5 916-407 SB400 450×250×8
311-112 UM-210 160×210×25 1 1 5 5 5.0 베벨 엣지 타입（III형）
311-113 UM-310 260×310×30 1 1 5 5 14.0 916-100 SE50 50×40
※UM-310에는 제거가능한 핸들을 제공합니다. 916-101 SE75 75×50 외측 2+L/100
※주문제작 입니다. 916-102 SE100 100×70 내측 5+L/50
916-103 SE150 150×100
916-104 SE200 200×130
※1.길이의 맨 끝숫자는 측정면 폭
※2.L은 긴 쪽 길이
●카탈로그 No.k-3(정밀 측정기기•종합 카탈로그)를 참조해 주십시오.

19